| |
Характеристики розряду магнетронної системи для розпилення, осадження покриттів та застосування у нанотехнології [Текст] / А. О. Бреус, О. Л. Сердюк, В. І. Рузайкін, О. О. Баранов
// Авіаційно-космічна техніка і технологія : Научно-технический журнал. – Харьков : ХАІ, 2020. – № 6. – С. 72-79 : рис.
Магнетронне розпилення роками відомо як потужній інструмент для нанесення покриттів на ріжучий інструмент та деталі машин. Перша частина досліджень присвячена експериментам, проведеним, провенденим з магнетронним пристпроєм, який оснащений титановим катодом, та розміщений у вакуумній камері, заповненій аргоном або сумішшю аргону і азоту; константи визначені для конкретної геометрії магнетронної системи. У наступній частині дослідження розглядається нове застосування магнетрона для отримання вуглецевих наноструктур.
|
